證券代碼：688120    證券簡(jiǎn)稱：華海清科         公告編號(hào)：2023-034

【資料圖】

              華海清科股份有限公司

關(guān)于 12 英寸超精密晶圓減薄機(jī)量產(chǎn)機(jī)臺(tái)出貨的自愿

                 性披露公告

  本公司董事會(huì)及全體董事保證本公告內(nèi)容不存在任何虛假記載、誤導(dǎo)性陳述

或者重大遺漏，并對(duì)其內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和完整性依法承擔(dān)法律責(zé)任。

重要內(nèi)容提示

  ?近日，華海清科股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“公司”）新一代 12 英寸超精密

晶圓減薄機(jī) Versatile-GP300 量產(chǎn)機(jī)臺(tái)出機(jī)發(fā)往集成電路龍頭企業(yè)。

  ?12 英寸超精密晶圓減薄機(jī)是業(yè)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn) 12 英寸晶圓超精密磨削和 CMP

全局平坦化的有機(jī)整合集成設(shè)備，Versatile-GP300 量產(chǎn)機(jī)臺(tái)可穩(wěn)定實(shí)現(xiàn) 12 英

寸晶圓片內(nèi)磨削總厚度變化（以下簡(jiǎn)稱“TTV”）＜1um 和減薄工藝全過(guò)程的穩(wěn)

定可控。

  ?該產(chǎn)品量產(chǎn)機(jī)臺(tái)出貨標(biāo)志著其性能獲得客戶認(rèn)可，將有助于鞏固和提升公

司的核心競(jìng)爭(zhēng)力，對(duì)公司未來(lái)的發(fā)展將產(chǎn)生積極的影響。

  ?該產(chǎn)品量產(chǎn)機(jī)臺(tái)尚需市場(chǎng)推廣和更多客戶對(duì)該產(chǎn)品進(jìn)行驗(yàn)證，存在未來(lái)市

場(chǎng)推廣與客戶開拓不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)。

  一、新產(chǎn)品基本信息

  近日，公司新一代 12 英寸超精密晶圓減薄機(jī) Versatile-GP300 量產(chǎn)機(jī)臺(tái)出

機(jī)發(fā)往集成電路龍頭企業(yè)。

  Versatile-GP300 機(jī)臺(tái)通過(guò)創(chuàng)新布局，集成超精密磨削、拋光及清洗單元，

配置先進(jìn)的厚度偏差與表面缺陷控制技術(shù)，提供多種系統(tǒng)功能擴(kuò)展選項(xiàng)，具有高

精度、高剛性、工藝開發(fā)靈活等優(yōu)點(diǎn)，可以滿足集成電路、先進(jìn)封裝等制造工藝

的晶圓減薄需求。

  公司針對(duì) Versatile-GP300 進(jìn)行了工藝性能水平及智能化控制的迭代升級(jí)，

在核心技術(shù)指標(biāo)方面取得新突破。Versatile-GP300 量產(chǎn)機(jī)臺(tái)的超精密晶圓磨削

系統(tǒng)穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)了 12 英寸晶圓片內(nèi)磨削 TTV＜1um，達(dá)到了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先和國(guó)際先進(jìn)水

平，并配備了新開發(fā)的 CMP 多區(qū)壓力智能控制系統(tǒng)，突破傳統(tǒng)減薄機(jī)的精度限制，

實(shí)現(xiàn)了減薄工藝全過(guò)程的穩(wěn)定可控。

  二、新產(chǎn)品對(duì)公司的影響

  Versatile-GP300 量產(chǎn)機(jī)臺(tái)進(jìn)入大生產(chǎn)線，標(biāo)志著其性能獲得客戶認(rèn)可，填

補(bǔ)了國(guó)內(nèi)芯片裝備行業(yè)在超精密減薄技術(shù)領(lǐng)域的空白。同時(shí)隨著先進(jìn)封裝、

Chiplet 等技術(shù)的應(yīng)用將大幅提升市場(chǎng)對(duì)減薄設(shè)備的需求，本次 12 英寸超精密

晶圓減薄機(jī)量產(chǎn)機(jī)臺(tái)出貨，將有助于鞏固和提升公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力，對(duì)公司未來(lái)

的發(fā)展將產(chǎn)生積極的影響。

  三、相關(guān)風(fēng)險(xiǎn)提示

  公司 12 英寸超精密晶圓減薄機(jī)量產(chǎn)機(jī)臺(tái)尚需市場(chǎng)推廣和更多客戶對(duì)該產(chǎn)品

進(jìn)行驗(yàn)證，存在未來(lái)市場(chǎng)推廣與客戶開拓不及預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)。

  敬請(qǐng)廣大投資者注意投資風(fēng)險(xiǎn)。

  特此公告

                              華海清科股份有限公司

                                  董   事   會(huì)

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